[实用新型]MEMS加速度计芯片测试装置

摘要

MEMS加速度计芯片测试装置。本实用新型涉及一种MEMS加速度计芯片测试装置。直线电机机身Ⅱ上设置旋转电机Ⅰ与旋转电机Ⅱ，旋转电机Ⅰ的输出轴插入轴承柱Ⅰ的内圈，轴承柱Ⅰ的外圈的顶端连接支撑板Ⅰ，支撑板Ⅰ的上端设置倒L形夹板Ⅰ，倒L形夹板Ⅰ与支撑板Ⅰ之间的空间装入一个MEMS加速度计芯片，旋转电机Ⅱ的输出轴插入轴承柱Ⅱ的内圈，轴承柱Ⅱ的外圈的顶端连接支撑板Ⅱ，支撑板Ⅱ的上端设置倒L形夹板Ⅱ，倒L形夹板Ⅱ与支撑板Ⅱ之间的空间装入一个MEMS加速度计芯片。本实用新型用于MEMS加速度计芯片测试。

主权项

一种MEMS加速度计芯片测试装置，其组成包括：直线电机与旋转电机，其特征是：所述的直线电机包括一个直线电机轨道（1），所述的直线电机轨道（1）上运行直线电机机身Ⅰ（2）、直线电机机身Ⅱ（3）与直线电机机身Ⅲ（4）；所述的直线电机机身Ⅰ（2）上设置倒L形支架Ⅰ（5），所述的倒L形支架Ⅰ（5）的两边再通过斜边Ⅰ（6）相连，所述的倒L形支架Ⅰ（5）的顶端横边的截面为梯形，所述的倒L形支架Ⅰ（5）的顶端横边上设置插口Ⅰ（17）与插口Ⅱ（18），所述的插口Ⅱ（18）的外边框设置引导管Ⅰ（19），所述的插口Ⅰ（17）与插口Ⅱ（18）均配合测试针使用；所述的直线电机机身Ⅱ（3）上设置旋转电机Ⅰ（7）与旋转电机Ⅱ（8），所述的旋转电机Ⅰ（7）的输出轴插入轴承柱Ⅰ（9）的内圈，所述的轴承柱Ⅰ（9）的外圈的顶端连接支撑板Ⅰ（10），所述的支撑板Ⅰ（10）的上端设置倒L形夹板Ⅰ（11），所述的倒L形夹板Ⅰ（11）与支撑板Ⅰ（10）之间的空间装入一个MEMS加速度计芯片，所述的倒L形夹板Ⅰ（11）的竖边与横边通过转轴Ⅰ（24）相连接，所述的倒L形夹板Ⅰ（11）的横边开有一组测试针插管Ⅰ（23），所述的测试针插管Ⅰ（23）内也装入测试针；所述的旋转电机Ⅱ（8）的输出轴插入轴承柱Ⅱ（12）的内圈，所述的轴承柱Ⅱ（12）的外圈的顶端连接支撑板Ⅱ（13），所述的支撑板Ⅱ（13）的上端设置倒L形夹板Ⅱ（14），所述的倒L形夹板Ⅱ（14）与支撑板Ⅱ（13）之间的空间装入一个MEMS加速度计芯片，所述的倒L形夹板Ⅱ（14）的竖边与横边通过转轴Ⅱ（25）相连接，所述的倒L形夹板Ⅱ（14）的横边开有一组测试针插管Ⅱ（26），所述的测试针插管Ⅱ（26）内也装入测试针，所述的直线电机机身Ⅲ（4）上设置倒L形支架Ⅱ（15），所述的倒L形支架Ⅱ（15）的两边再通过斜边Ⅱ（16）相连，所述的倒L形支架Ⅱ（15）的顶端横边的截面为梯形；所述的倒L形支架Ⅱ（15）的顶端横边上设置插口Ⅲ（20）与插口Ⅳ（21），所述的插口Ⅳ（21）的外边框设置引导管Ⅱ（22），所述的插口Ⅲ（20）与插口Ⅳ（21）均配合测试针使用；所述的倒L形支架Ⅰ（5）与倒L形支架Ⅱ（15）相对设置。