[实用新型]抛光垫有效
| 申请号： | 201720968162.3 | 申请日： | 2017-08-03 |
| 公开（公告）号： | CN207415097U | 公开（公告）日： | 2018-05-29 |
| 发明（设计）人： | 朱顺全;张季平;吴晓茜;车丽媛 | 申请（专利权）人： | 湖北鼎龙控股股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/20 | 分类号： | B24B37/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 430057 湖北省*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种抛光垫，包括研磨层和透光窗口，研磨层中设有至少两个透光窗口，且以研磨层的中心为圆心，相邻两个透光窗口所在位置对应的圆心角均相等，每个透光窗口下方均设有与其一一对应的可接收光的干涉信号的检测器。本实用新型通过在研磨层上设置多个等分设置的透光窗口，每个透光窗口对应一个检测器，实现多个检测器在不同位置联合检测，提高了研磨终点的光学测定精度，从而得到研磨均一性更佳的抛光垫。 | ||
| 搜索关键词： | 透光窗口 研磨层 检测器 抛光垫 本实用新型 等分设置 干涉信号 光学测定 联合检测 研磨终点 圆心 抛光 研磨 接收光 均一性 圆心角 相等 | ||
【主权项】：
1.一种抛光垫，包括研磨层和透光窗口，其特征在于，所述研磨层中设有至少两个透光窗口，且以所述研磨层的中心为圆心，相邻两个所述透光窗口所在位置对应的圆心角均相等，每个所述透光窗口下方均设有与其一一对应的可接收光的干涉信号的同时工作的检测器。
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