[实用新型]一种抗PID设备有效
| 申请号： | 201720974691.4 | 申请日： | 2017-08-07 |
| 公开（公告）号： | CN207097837U | 公开（公告）日： | 2018-03-13 |
| 发明（设计）人： | 崔红星 | 申请（专利权）人： | 九江盛朝欣业科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/0216 | 分类号： | H01L31/0216;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京纽乐康知识产权代理事务所(普通合伙)11210 | 代理人： | 王珂 |
| 地址： | 332000 江*** | 国省代码： | 江西;36 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种抗PID设备，包括臭氧发生器和箱体，所述箱体内部从上至下依次设有臭氧喷淋器、导流板和硅片传送装置，所述臭氧喷淋器与所述臭氧发生器连接，所述箱体下部设有臭氧排放管路，所述导流板形状为向上凸起的弓形。本实用新型的有益效果通过设置弓形导流板，从而使得臭氧喷淋器喷出的气体流向得到更改，尤其是箱体边缘的气流能够与硅片产生一定角度，使臭氧与硅片的接触更充分，形成的氧化硅膜也更加均匀，进而达到提高产品质量的技术效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 pid 设备 | ||
【主权项】：
一种抗PID设备，其特征在于，包括臭氧发生器（1）和箱体（2），所述箱体（2）内部从上至下依次设有臭氧喷淋器（3）、导流板（4）和硅片传送装置（5），所述臭氧喷淋器（3）与所述臭氧发生器（1）连接，所述箱体（2）下部设有臭氧排放管路（8），所述导流板（4）形状为向上凸起的弓形。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于九江盛朝欣业科技有限公司，未经九江盛朝欣业科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201720974691.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种抗PID光伏玻璃
- 下一篇：一种多晶硅电池片
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
