[实用新型]一种清洗系统及手提式清洗装置

摘要

本实用新型提供了一种清洗系统以及手提式清洗装置，应用于半导体制造设备的气体管道中，气体管道包括进气口以及出气口；其中，包括：液体箱，液体箱设置有一出水口以及入水口；气体泵，一端通过一液体管道与出水口连接，另一端与气体管道的进气口连接，出气口通过一液体管道与入水口连接；气体泵用以将液体箱箱中的液体抽出至气体管道，并回流至液体箱。其技术方案的有益效果在于，克服了现有技术中对对气体管道进行清洗时，需要拆卸管道存在的操作不便，以及对拆卸的管道需要额外提供容积庞大的清洗槽进行清洗费时费力的缺陷。 1

主权项

1.一种清洗系统，应用于半导体机台的气体管道中，所述气体管道包括进气口以及出气口；其特征在于，包括：

液体箱，所述液体箱设置有一出水口以及入水口；

气体泵，一端通过一液体管道与所述出水口连接，另一端与所述气体管道的所述进气口连接，所述出气口通过一液体管道与所述入水口连接；

所述气体泵用以将所述液体箱箱中的液体抽出至所述气体管道，并回流至所述液体箱。

2.根据权利要求1所述的清洗系统，其特征在于，还包括一过滤器，所述过滤器通过液体管道连接与所述气体泵以及所述进气口之间。

3.根据权利要求1所述的清洗系统，其特征在于，所述液体箱中存储的液体为水。

4.根据权利要求1所述的清洗系统，其特征在于，所述进气口设置有第一密封接头；

所述液体管道与所述进气口连接的一端设置有与所述第一密封接头适配的第二密封接头。

5.根据权利要求1所述的清洗系统，其特征在于，所述出气口设置有第一密封接头；

所述液体管道与所述出气口连接的一端设置有与所述第一密封接头适配的第二密封接头。

6.根据权利要求4或5的所述清洗系统，其特征在于，所述第一密封接头与所述第二密封接头为VCR接头。

7.根据权利要求4或5所述的清洗系统，其特征在于，所述第一密封接头以及所述第二密封接头由塑料材质制成。

8.一种手提式清洗装置，其特征在于，包括如权利要求1‑5中任一所述的清洗系统，包括：

箱体本体，所述箱体本体内设置有一容置空间；

所述液体箱固定设置于所述容置空间的底部；

第一通孔，设置于所述箱体本体的侧壁并对应进水口的位置；

所述气体泵固定设置于所述容置空间的底部，并位于所述液体箱的一侧；

过滤器可拆卸的设置于所述容置空间内，并位于所述液体箱以及所述气体泵的上部；

手提把手，固定设置于所述箱体本体的顶部。