[实用新型]分体式蓝宝石喷气装置有效
| 申请号： | 201720989313.3 | 申请日： | 2017-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN207149535U | 公开（公告）日： | 2018-03-27 |
| 发明（设计）人： | 许赞 | 申请（专利权）人： | 重庆臻宝实业有限公司;许赞 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/306 |
| 代理公司： | 重庆为信知识产权代理事务所(普通合伙)50216 | 代理人： | 龙玉洪 |
| 地址： | 401326 重庆市九*** | 国省代码： | 重庆;85 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种分体式蓝宝石喷气装置，包括第一主体和第二主体，二者均由蓝宝石材料加工而成；第一主体内设有流动孔a和流动孔b，其中流动孔a贯穿第一主体的上下两端，第一主体上设有分别与流动孔a和流动孔b连通的注气孔a和注气孔b；第二主体内设有流动孔c和流动孔d，流动孔c贯穿第二主体上下两端，第二主体的下端周向外缘设有至少一个与流动孔d相连通的排出孔；第二主体的上端与第一主体的下端固定连接，流动孔c与流动孔a连通，流动孔d与流动孔b连通。提高了装置整体耐腐性及高温稳定性，使排出孔保持长久的稳定形态，提高喷气均匀性及产品良品率，降低了加工难度，并且提高了连接处的强度，延长装置的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 体式 蓝宝石 喷气 装置 | ||
【主权项】：
一种分体式蓝宝石喷气装置，其特征在于：包括第一主体(1)和第二主体(2)，二者均由蓝宝石材料加工而成；所述第一主体(1)内沿其轴向设有流动孔a(10)和流动孔b(11)，其中流动孔a(10)贯穿第一主体(1)的上下两端，第一主体(1)外壁上设有分别与流动孔a(10)和流动孔b(11)连通的注气孔a(12)和注气孔b(13)；所述第二主体(2)内沿其轴向设有流动孔c(20)和流动孔d(21)，其中流动孔c(20)贯穿第二主体(2)上下两端，第二主体(2)的下端周向外缘设有至少一个与流动孔d(21)相连通的排出孔(22)；所述第二主体(2)的上端与第一主体(1)的下端固定连接，且流动孔c(20)与流动孔a(10)连通，流动孔d(21)与流动孔b(11)连通。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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