[实用新型]一种高精度直写曝光镜头有效
| 申请号： | 201720996742.3 | 申请日： | 2017-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN207301620U | 公开（公告）日： | 2018-05-01 |
| 发明（设计）人： | 蔡志国;龚田 | 申请（专利权）人： | 苏州微影激光技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B3/00;G02B27/09 |
| 代理公司： | 深圳市千纳专利代理有限公司44218 | 代理人： | 黄良宝 |
| 地址： | 215000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种高精度直写曝光镜头，属于曝光设备领域，其包括上曝光镜头、下曝光镜头以及连接上下曝光镜头的连接件，上曝光镜头连接有光束整形镜头，上曝光镜头顶部设有DMD芯片，连接件包括连接筒，连接筒内设有内沿，内沿将连接筒划分为用于容纳上曝光镜头的上腔以及用于容纳下曝光镜头的下腔，内沿上设有用于将方形光斑缩小为圆形光斑的MLA微透镜。与现有技术相比，该高精度直写曝光镜头利用MLA微透镜突破DMD像素尺寸对光斑大小的局限，将曝光面上的方形光斑变为尺寸更小的圆形光斑，且不改变曝光幅面大小，从而在曝光范围不变的情况下曝光出更精细的线条。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高精度 曝光 镜头 | ||
【主权项】：
一种高精度直写曝光镜头，包括上曝光镜头、下曝光镜头以及连接上下曝光镜头的连接件，上曝光镜头连接有光束整形镜头，上曝光镜头顶部设有DMD芯片，其特征在于，连接件包括连接筒，连接筒内设有内沿，内沿将连接筒划分为用于容纳上曝光镜头的上腔以及用于容纳下曝光镜头的下腔，内沿上设有用于将方形光斑缩小为圆形光斑的MLA微透镜。
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