[实用新型]涡轮分子泵减震器

摘要

本实用新型公开了一种涡轮分子泵减震器，包括法兰一、筒体一、不锈钢波纹管，橡胶填充物、筒体二及法兰二。本实用新型提供的涡轮分子泵减震器，其通过上下两个法兰分别与扫描电子显微镜样品室和涡轮分子泵密封联接，通过不锈钢波纹管和橡胶填充物的共同作用，可以有效防止涡轮分子泵在运转过程中产生的震动向扫描电子显微镜样品室传递。本实用新型在解决涡轮分子泵减震问题的同时又完成了涡轮分子泵的安装固定，极大地简化了装配过程的复杂性。

主权项

1.一种涡轮分子泵减震器，其特征在于，包括法兰一、筒体一、不锈钢波纹管，橡胶填充物、筒体二及法兰二，其中：法兰一，材料为316L不锈钢，所述法兰一与筒体一之间采用激光焊焊接成型；筒体一，材料为316L不锈钢，所述筒体一与法兰一和不锈钢波纹管之间分别采用激光焊焊接成型；不锈钢波纹管，材料为316L不锈钢，爆炸成形，壁厚0.25mm~0.35mm，所述不锈钢波纹管与筒体一和筒体二之间分别采用激光焊焊接成型；橡胶填充物，材料为氟橡胶，与不锈钢波纹管采用一次性整体浇铸成型，紧密结合成为一个整体；筒体二，材料为316L不锈钢，所述筒体二与法兰二和不锈钢波纹管之间分别采用激光焊焊接成型；法兰二，材料为316L不锈钢，所述法兰二与筒体二之间采用激光焊焊接成型。