[实用新型]一种基于石墨烯压阻结的压力传感器

摘要

本实用新型公开一种基于石墨烯压阻结的压力传感器，主要结构由石墨烯压阻结、引线柱、基片、封装外壳、互连电极、复合电极、密封环、陶瓷基座组成，石墨烯压阻结由氮化硼/石墨烯/氮化硼纳米薄膜、复合电极组成，纳米薄膜由上下两层氮化硼与夹在其中的石墨烯组成，压阻结布置在基片下表面，基片上部刻蚀形成凹形结构，基片与陶瓷基座通过金属键合形成无氧真空腔，隔绝了压阻结与外界的直接接触，为其提供无氧防护,压阻结通过互连电极和引线柱与外部电阻相连构成惠斯通电桥，此器件用石墨烯压阻结替代硅压敏电阻结，可长期稳定工作于1000℃以上的高温环境，重复性好、可靠性高，耐酸碱、抗腐蚀，可应用于动静态高温测试环境，显著提升高温区间。

主权项

一种基于石墨烯压阻结的压力传感器，其特征在于，所述传感器包括：一个封装外壳，所述封装外壳内部上下两端分别设置有一个陶瓷基座及一个基片，所述陶瓷基座、所述基片及所述封装外壳共同界定一个检测空间，所述基片上侧为一个凹形结构，所述凹形结构底部为膜片结构；一个检测单元，所述检测单元设置在所述检测空间内，所述检测单元包括两个石墨烯压阻结，所述石墨烯压阻结包括氮化硼/石墨烯/氮化硼纳米薄膜及复合电极，两个所述氮化硼/石墨烯/氮化硼纳米薄膜对称地布置在所述膜片结构边缘应力最大处，所述复合电极接设于所述氮化硼/石墨烯/氮化硼纳米薄膜上；所述检测空间为一个能够将氮化硼/石墨烯/氮化硼纳米薄膜与外部空气隔离的无氧真空腔。