[实用新型]一种基于主动电弧抑制技术的中频等离子电源

摘要

本实用新型公开了一种基于主动电弧抑制技术的中频等离子电源，包含了整流滤波电路、开关变换器主电路、输出变压器、电弧电路、PWM信号电路、驱动电路和辅助电源电路，所述电弧电路包含用于检测电弧的电弧检测电路和用于处理电弧的电弧处理电路；能够通过对输出电压或者电流的检测来判断电弧的发生，并迅速做出响应，让电源短时间内停止输出，来减少电弧的发生，能够确保薄膜质量和沉积率的情况下极大地降低了电弧的发生概率。

主权项

一种基于主动电弧抑制技术的中频等离子电源，其特征在于：包括整流滤波电路(100)、开关变换器主电路(200)、输出变压器(300)、用于连接等离子体炉的端口(400)、电弧电路(500)、用于产生PWM控制信号的PWM信号电路(600)、驱动电路(700)和辅助电源电路(800)，所述电弧电路(500)包含用于检测电弧的电弧检测电路(520)和用于处理电弧的电弧处理电路(540)；所述整流滤波电路(100)、开关变换器主电路(200)、输出变压器(300)和端口(400)依次连接，所述输出变压器(300)的输出端还依次通过电弧检测电路(520)、电弧处理电路(540)、PWM信号电路(600)和驱动电路(700)连接至开关变换器主电路(200)的输入端，所述辅助电源电路(800)的输出端还分别连接至PWM信号电路(600)和驱动电路(700)的输入端。