[实用新型]离子源主腔体和离子源腔体盖板整体定位密封结构

摘要

本实用新型公开了一种离子源主腔体和离子源腔体盖板整体定位密封结构，包括离子源真空腔体组件；离子源腔口盖板通过螺钉与离子源腔体密封连接；围绕离子源腔体的腔口开设有密封槽；离子源腔体的腔口四角分别开设有螺孔，其中两个相邻螺孔的孔口分别开设有第一扩孔，两个第一扩孔内分别以静配合方式设置有第一定位轴套，两个第一定位轴套的顶部向上延伸出各自的第一扩孔之外；离子源腔口盖板上对应于四个螺孔位置处分别开设有沉头销孔，对应于两个第一扩孔的两个沉头销下孔口开设有第二扩孔，每个第二扩孔内分别以静配合方式设置有第二定位轴套。本实用新型优点在于解决了离子源腔体、离子源腔口盖板两者之间的定位和密封问题。

主权项

一种离子源主腔体和离子源腔体盖板整体定位密封结构，包括由分子泵、真空计、离子源腔体、离子源腔口盖板组成的离子源真空腔体组件；所述离子源腔口盖板通过螺钉与离子源腔体密封连接；其特征在于：围绕所述离子源腔体的腔口开设有密封槽，所述密封槽内设置有密封圈；离子源腔体的腔口四角分别开设有螺孔，其中两个相邻所述螺孔的孔口分别开设有第一扩孔，两个所述第一扩孔内分别以静配合方式设置有第一定位轴套，两个所述第一定位轴套的顶部向上延伸出各自的第一扩孔之外；所述离子源腔口盖板上对应于四个所述螺孔位置处分别开设有沉头销孔，对应于两个第一扩孔的两个所述沉头销孔下孔口开设有第二扩孔，每个所述第二扩孔内分别以静配合方式设置有第二定位轴套，两个所述第二定位轴套的内孔均为下大上小的台阶孔，所述台阶孔的大直径孔径大于对应第一定位轴套的外径。