[实用新型]一种冷却盘组件

摘要

本实用新型为一种冷却盘组件，包括冷却盘和冷却盘底板，冷却盘与冷却盘底板相对扣合固定；冷却盘的与冷却盘底板相对的一面设有冷却剂凹槽和第一密封沟槽，冷却盘底板的与冷却盘相对的一面设有第二密封沟槽；冷却盘和冷却盘底板之间还设置有密封垫，密封垫将冷却剂凹槽、第一密封沟槽和第二密封沟槽均覆盖，用于防止冷却剂凹槽内的冷却剂漏出。冷却盘的用于放置晶片的第二面设有辅助冷却凹槽，第一密封沟槽和第二密封沟槽的纵截面均为三角形且相互错开设置。本实用新型能防止冷却剂在冷却剂凹槽之间内漏，提高冷却效率，加速wafer的冷却速度，同时提高冷却的均匀性，解决冷却剂容易向冷却盘外漏出的问题。

主权项

1.一种冷却盘组件，其包括冷却盘和冷却盘底板，所述冷却盘与所述冷却盘底板相对扣合固定；所述冷却盘的与所述冷却盘底板相对的第一面设有冷却剂凹槽和第一密封沟槽，所述冷却盘底板的与所述冷却盘相对的第一面设有第二密封沟槽；其特征在于，所述冷却盘和所述冷却盘底板之间还设置有密封垫，所述密封垫将所述冷却剂凹槽、所述第一密封沟槽和所述第二密封沟槽均覆盖，用于防止所述冷却剂凹槽内的冷却剂漏出。