[实用新型]一种用于晶棒切方设备的晶棒压紧装置有效
申请号: | 201721043369.6 | 申请日: | 2017-08-21 |
公开(公告)号: | CN207224320U | 公开(公告)日: | 2018-04-13 |
发明(设计)人: | 曹建伟;傅林坚;沈文杰;马旭;卢嘉彬;邱文杰;陈志聪;张航 | 申请(专利权)人: | 浙江晶盛机电股份有限公司 |
主分类号: | B28D7/04 | 分类号: | B28D7/04 |
代理公司: | 杭州中成专利事务所有限公司33212 | 代理人: | 朱莹莹,周世骏 |
地址: | 312300 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型属于晶棒开方设备领域,尤其涉及一种用于晶棒切方设备的晶棒压紧装置。一种用于晶棒切方设备的晶棒压紧装置,包括支撑头座,所述支撑头座外套有主压头,浮动压头波纹管和气缸安装座;所述浮动压头波纹管两端分别与主压头和气缸安装座连接;所述主压头以接触表面为球面的形式与支撑头座端部紧密接触;所述气缸安装座安装在支撑头座上;所述气缸安装座上安装有边皮压紧气缸,所述边皮压紧气缸设有四个,分别分布在气缸安装座四周;所述每一个边皮压紧气缸上安装有边皮压头。保证了切面的表面质量并避免晶棒出现开裂和崩边。 | ||
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【主权项】:
一种用于晶棒切方设备的晶棒压紧装置,其特征在于:包括支撑头座,所述支撑头座外套有主压头,浮动压头波纹管和气缸安装座;所述浮动压头波纹管两端分别与主压头和气缸安装座连接;所述主压头以接触表面为球面的形式与支撑头座端部紧密接触;所述气缸安装座安装在支撑头座上,所述气缸安装座上安装有边皮压紧气缸,所述边皮压紧气缸设有四个,分别分布在气缸安装座四周;所述每一个边皮压紧气缸上安装有边皮压头。
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