[实用新型]一种用于晶棒切方设备的晶棒压紧装置有效

专利信息
申请号: 201721043369.6 申请日: 2017-08-21
公开(公告)号: CN207224320U 公开(公告)日: 2018-04-13
发明(设计)人: 曹建伟;傅林坚;沈文杰;马旭;卢嘉彬;邱文杰;陈志聪;张航 申请(专利权)人: 浙江晶盛机电股份有限公司
主分类号: B28D7/04 分类号: B28D7/04
代理公司: 杭州中成专利事务所有限公司33212 代理人: 朱莹莹,周世骏
地址: 312300 浙江*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 实用新型属于晶棒开方设备领域,尤其涉及一种用于晶棒切方设备的晶棒压紧装置。一种用于晶棒切方设备的晶棒压紧装置,包括支撑头座,所述支撑头座外套有主压头,浮动压头波纹管和气缸安装座;所述浮动压头波纹管两端分别与主压头和气缸安装座连接;所述主压头以接触表面为球面的形式与支撑头座端部紧密接触;所述气缸安装座安装在支撑头座上;所述气缸安装座上安装有边皮压紧气缸,所述边皮压紧气缸设有四个,分别分布在气缸安装座四周;所述每一个边皮压紧气缸上安装有边皮压头。保证了切面的表面质量并避免晶棒出现开裂和崩边。
搜索关键词: 一种 用于 晶棒切方 设备 压紧 装置
【主权项】:
一种用于晶棒切方设备的晶棒压紧装置,其特征在于:包括支撑头座,所述支撑头座外套有主压头,浮动压头波纹管和气缸安装座;所述浮动压头波纹管两端分别与主压头和气缸安装座连接;所述主压头以接触表面为球面的形式与支撑头座端部紧密接触;所述气缸安装座安装在支撑头座上,所述气缸安装座上安装有边皮压紧气缸,所述边皮压紧气缸设有四个,分别分布在气缸安装座四周;所述每一个边皮压紧气缸上安装有边皮压头。
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