[实用新型]适用于晶圆厂内天车搬运系统下货的减震组件有效
| 申请号： | 201721051205.8 | 申请日： | 2017-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN207514144U | 公开（公告）日： | 2018-06-19 |
| 发明（设计）人： | 廖鸿文;杨安广 | 申请（专利权）人： | 昆山芯物联电子通讯有限公司 |
| 主分类号： | F16F15/04 | 分类号： | F16F15/04 |
| 代理公司： | 苏州唯亚智冠知识产权代理有限公司 32289 | 代理人： | 高玉蓉 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市昆*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种适用于晶圆厂内天车搬运系统下货的减震组件，包括有支架、圆柱缓冲减震器，支架为矩形支架，矩形支架通过若干缓冲组件，连接有上位平台。由此，设有独立的缓冲组件，有效减少振动，避免晶圆的放货对晶圆的震动。圆柱缓冲减震器结构简单，易于装配。整体结构稳固，易于使用与维护。 | ||
| 搜索关键词： | 晶圆 缓冲减震器 搬运系统 缓冲组件 减震组件 矩形支架 天车 支架 本实用新型 上位平台 有效减少 装配 稳固 震动 维护 | ||
【主权项】：
1.适用于晶圆厂内天车搬运系统下货的减震组件，包括有支架，其特征在于：所述支架为矩形支架(1)，所述矩形支架(1)通过若干缓冲组件，连接有上位平台(2)。
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