[实用新型]一种基板状态检测装置以及基板搬运系统

摘要

一种基板状态检测装置，其包括：至少一个支撑销，所述支撑销用于支撑所述基板；以及检测单元，所述检测单元与所述支撑销对应地设置；还包括设置于所述支撑销上的被检测单元，所述检测单元与所述被检测单元配合设置。本实用新型的基板状态检测装置，通过在支撑销上部设置检测通孔并在腔室壁安装传感器检测工艺腔室内的支撑销和基板的状态，当腔室内的支撑销位置不正或基板发生异常倾斜时进行报警，防止因基板倾斜、机械手进入取片导致的撞片碎片。 1

主权项

1.一种基板状态检测装置，其包括：

至少一个支撑销，所述支撑销用于支撑所述基板；

以及检测单元，所述检测单元与所述支撑销对应地设置；

其特征在于：

还包括设置于所述支撑销上的被检测单元，所述检测单元与所述被检测单元配合设置。

2.根据权利要求1所述的基板状态检测装置，其特征在于：所述检测单元检测所述支撑销的竖向位置偏移或者所述支撑销的径向位置偏移。

3.根据权利要求2所述的基板状态检测装置，其特征在于：所述被检测单元为设置在每一支撑销上的位于同一水平面的通孔；所述检测单元包括发射机构和与之配合的接受机构，所述发射机构和所述接受机构分别设置在至少一个所述通孔的两端延长线上。

4.根据权利要求3所述的基板状态检测装置，其特征在于：所述支撑销设置有四个，四个所述支撑销两两对称设置，所述通孔分别设置于所述支撑销上靠近所述基板一侧的端部。

5.根据权利要求4所述的基板状态检测装置，其特征在于：所述检测单元与所述支撑销一一对应地设置。

6.根据权利要求4所述的基板状态检测装置，其特征在于：所述检测单元分别设置有两组，其中一组所述检测单元与其中两个所述支撑销配合设置，另一组所述检测单元与其余的两个所述支撑销配合设置，两组所述检测单元交叉设置。

7.根据权利要求3‑6任意一项所述的基板状态检测装置，其特征在于：所述检测单元为激光传感器，所述发射机构为激光发射器，所述接受机构为激光接收器。

8.根据权利要求7所述的基板状态检测装置，其特征在于：工艺腔室的侧壁上还设置有透明观察部，所述检测单元分别安装在所述透明观察部上。

9.一种基板搬运系统，其特征在于包括：

执行装置，所述执行装置拾取所述基板；

检测装置，所述检测装置检测所述基板的水平状态；

控制装置，所述控制装置分别与检测装置和所述执行装置连接，并根据检测结果控制所述执行装置动作；所述检测装置为权利要求1‑8任意一项所述的基板状态检测装置。

10.根据权利要求9所述的基板搬运系统，其特征在于：所述搬运系统还包括报警装置，所述报警装置与所述控制装置连接，所述执行装置为机械手。