[实用新型]一种应力迁移测试结构有效
| 申请号： | 201721074174.8 | 申请日： | 2017-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN207303081U | 公开（公告）日： | 2018-05-01 |
| 发明（设计）人： | 单法宪;吴启熙 | 申请（专利权）人： | 武汉新芯集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/49 | 分类号： | H01L23/49 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所31272 | 代理人： | 俞涤炯 |
| 地址： | 430205 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种应力迁移测试结构，属于半导体制造技术领域，包括间隔排布的第一焊盘、第二焊盘、第三焊盘、第四焊盘；连接于第一焊盘和第二焊盘之间的蛇形的第一金属线；连接于第三焊盘和第四焊盘之间的蛇形的第二金属线，与第一金属线位于不同层；于第一金属线连接第二焊盘的一端延伸出一第三金属线；于第二金属线连接第三焊盘的一端延伸出一第四金属线；第三金属线与第四金属线通孔连接。上述技术方案的有益效果是通过弯折增加金属线的长度，可准确测量金属线电阻，增加了测试结构的功能，可以有效监控应力迁移失效，及定量评估金属线和通孔各自的电阻变化率，对研究应力迁移失效机制和提高产品的应力迁移可靠性都有重要的意义。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 应力 迁移 测试 结构 | ||
【主权项】：
一种应力迁移测试结构，其特征在于，包括：间隔排布的第一焊盘、第二焊盘、第三焊盘、第四焊盘；连接于所述第一焊盘和所述第二焊盘之间并且弯折成蛇形的第一金属线；连接于所述第三焊盘和所述第四焊盘之间并且弯折成蛇形的第二金属线，所述第二金属线和所述第一金属线位于不同层；于所述第一金属线连接所述第二焊盘的一端延伸出一第三金属线；于所述第二金属线连接所述第三焊盘的一端延伸出一第四金属线；所述第三金属线和所述第四金属线之间通过通孔连接。
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