[实用新型]成膜装置

摘要

本实用新型提供一种成膜装置，其能够抑制对被成膜对象物带来损伤，同时提高生产效率。成膜装置(1)具备：输送介质(60)，其具有用于固定被成膜对象物(62)的粘着面(60a)；搬入室(10)，其供输送介质搬入；搬出室(20)，其供输送介质搬出；至少一个成膜室(30)，其在被成膜对象物(62)的表面进行成膜；多个连结部(40)，它们将搬入室、成膜室以及搬出室连结；输送部(33a、33b)，其对输送介质进行输送；以及冷却台(31)，其在成膜室中，在上表面配置输送介质，对配置于输送介质的被成膜对象物进行冷却，在成膜室中，使输送介质紧贴于冷却台的同时对输送介质进行输送，并且在被成膜对象物的表面进行成膜。

主权项

1.一种成膜装置，其中，具备：输送介质，其具有用于固定被成膜对象物的粘着面；搬入室，其供所述输送介质搬入；搬出室，其供所述输送介质搬出；至少一个成膜室，其配置于所述搬入室与所述搬出室之间，在所述被成膜对象物的表面进行成膜；多个连结部，它们将所述搬入室、所述成膜室以及所述搬出室连结；输送部，其设置于所述搬入室、所述成膜室、所述搬出室以及所述连结部，对所述输送介质进行输送；以及冷却台，其在所述成膜室中，在上表面配置所述输送介质，对配置于所述输送介质的所述被成膜对象物进行冷却，在所述成膜室中，使所述输送介质紧贴于所述冷却台的同时对所述输送介质进行输送，并且在所述被成膜对象物的表面进行成膜。