[实用新型]一种CPU制造用晶圆切割设备有效
申请号: | 201721092751.6 | 申请日: | 2017-08-29 |
公开(公告)号: | CN207344878U | 公开(公告)日: | 2018-05-11 |
发明(设计)人: | 张金岭 | 申请(专利权)人: | 赵全 |
主分类号: | B28D5/00 | 分类号: | B28D5/00;B28D7/04;B28D7/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 311805 浙江省绍*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种切割设备,尤其涉及一种CPU制造用晶圆切割设备。本实用新型要解决的技术问题是提供一种切割晶圆厚度一致的CPU制造用晶圆切割设备。为了解决上述技术问题,本实用新型提供了这样一种CPU制造用晶圆切割设备,包括有底板、收集框、侧板、顶板、左右移动机构、联动机构、升降机构、夹紧机构和切割机构;收集框、左右移动机构、侧板沿水平方向依次固接于底板顶部,顶板固接于侧板顶部,联动机构固接于侧板靠近左右移动机构的一侧部;升降机构固接于顶板底部。本实用新型达到了切割晶圆厚度一致的效果。 | ||
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【主权项】:
1.一种CPU制造用晶圆切割设备,其特征在于,包括有底板(1)、收集框(2)、侧板(3)、顶板(4)、左右移动机构(5)、联动机构(6)、升降机构(7)、夹紧机构(8)和切割机构(9);收集框(2)、左右移动机构(5)、侧板(3)沿水平方向依次固接于底板(1)顶部,顶板(4)固接于侧板(3)顶部,联动机构(6)固接于侧板(3)靠近左右移动机构(5)的一侧部;升降机构(7)固接于顶板(4)底部,且升降机构(7)通过联动机构(6)与左右移动机构(5)传动式连接;夹紧机构(8)固接于升降机构(7)的输出端,切割机构(9)固接于左右移动机构(5)的输出端。
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