[实用新型]LED光源和光刻机有效
| 申请号： | 201721110314.2 | 申请日： | 2017-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN207096678U | 公开（公告）日： | 2018-03-13 |
| 发明（设计）人： | 钱俊 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 屈蘅,李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种LED光源和光刻机，该LED光源包括LED基板、设置在所述LED基板上的LED芯片阵列、与所述LED芯片阵列对应的准直TIR元件阵列以及与所述准直TIR元件阵列对应的能量出射窗口。本实用新型采用准直TIR元件阵列，具备99％以上的能量收集效率，远高于现有LED光源的角分布能量利用效率，LED光源输出光束的最大发散角远小于LED芯片的最大发散角，准直光束的最大发散角优于0.1°可近似为理想的平行光；准直TIR元件可以对LED光线进行准直，输出发散角极小的准直光束，且使准直光束能够偏斜一定角度，可以使不同空间位置的LED芯片发出的光线照射到相同位置；本实用新型可实现足够小的光源拉赫不变量，提高效率，降低后续光学系统的设计难度。 | ||
| 搜索关键词： | led 光源 光刻 | ||
【主权项】：
一种LED光源，其特征在于，包括：LED基板、设置在所述LED基板上的LED芯片阵列、与所述LED芯片阵列对应的准直TIR元件阵列以及与所述准直TIR元件阵列对应的能量出射窗口，所述LED芯片阵列发出的若干束光经所述准直TIR元件阵列准直、偏转后入射到所述能量出射窗口。
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