[实用新型]致动传感模块有效
| 申请号： | 201721110786.8 | 申请日： | 2017-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN210665657U | 公开（公告）日： | 2020-06-02 |
| 发明（设计）人： | 莫皓然;陈世昌;廖家淯;陈寿宏;廖鸿信;李秋霖;陈美燕;黄启峰;韩永隆 | 申请（专利权）人： | 研能科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N33/00 | 分类号： | G01N33/00;G01D21/02 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 李昕巍;章侃铱 |
| 地址： | 中国台湾新竹市*** | 国省代码： | 台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本案提供一种致动传感模块，由致动装置、第一基板、阀片层、第二基板依序堆叠构成。第一基板包含进气通道、排气通道、进气口及排气口，第二基板开设一贯穿槽。阀片层设置于第一基板及第二基板之间，使其进气阀及排气阀分别封闭隔绝进气通道及排气通道。致动装置封闭设置于第二基板的贯穿槽，以在阀片层及贯穿槽之间形成一压缩腔室。进气口、进气通道、压缩腔室、排气通道及排气口相互连通形成一气流回路，且传感器设置于气流回路中。透过致动装置驱动外界的一气体于气流回路中循环流通，可供传感器对循环的该气体进行监测。 | ||
| 搜索关键词： | 传感 模块 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于研能科技股份有限公司，未经研能科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201721110786.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种用于热转轮中具有自我张力调节功能的装置
- 下一篇：一种配备导光板的硒鼓
