[实用新型]图案形成片及图案制造装置有效

专利信息
申请号: 201721112419.1 申请日: 2017-08-31
公开(公告)号: CN207882648U 公开(公告)日: 2018-09-18
发明(设计)人: 大嶋英司 申请(专利权)人: 康达智株式会社
主分类号: G03F7/00 分类号: G03F7/00
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 李德山;杜诚
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 实用新型公开了一种图案形成片及图案制造装置。能够实现消除高成本准确定位的必要性的图案形成和图案制造。图案制造装置(100)包括控制器(101)和激光投影仪(102)。控制器(101)控制激光投影仪(102)在放置在台(140)上的图案形成片(130)上形成图案。激光投影仪(102)还包括光学引擎(121)。光学引擎(121)用激光束(122)照射图案形成片(130)。台(140)具有不阻碍光束(122)的光学路径的中空结构。图案形成片(130)包括透光片材料层和涂敷到片材料层的光固化层。
搜索关键词: 图案形成 图案制造装置 激光投影仪 光学引擎 控制器 本实用新型 光固化层 光学路径 图案制造 中空结构 准确定位 材料层 激光束 片材料 透光片 涂敷 照射 图案 阻碍
【主权项】:
1.一种用于形成图案的图案形成片,其适合于任意工件表面,所述图案形成片包括:透光片材料层;以及膏状光固化层,其被涂敷到所述透光片材料层并且包含光固化树脂,其中,包含在所述光固化层中的所述光固化树脂是如下树脂:当所述图案形成片经由所述光固化层粘附到所述工件表面并且用光束进行照射时,该树脂与所述工件表面的粘附力变得高于与所述透光片材料层的粘附力。
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