[实用新型]便于石英舟运输的石英舟装置有效
| 申请号： | 201721133557.8 | 申请日： | 2017-09-05 |
| 公开（公告）号： | CN207338335U | 公开（公告）日： | 2018-05-08 |
| 发明（设计）人： | 王晨;袁华斌;符亮 | 申请（专利权）人： | 常州亿晶光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673 |
| 代理公司： | 常州市英诺创信专利代理事务所(普通合伙) 32258 | 代理人： | 郑云 |
| 地址： | 213000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及石英舟设备技术领域，尤其是涉及一种便于石英舟运输的石英舟装置，包括两个上支撑杆、两个下支撑杆、左挡板、右挡板、加强板和把手，所述上支撑杆和下支撑杆均设置在所述左挡板和右挡板之间，所述上支撑杆和所述下支撑杆相互平行设置，所述上支撑杆位于所述下支撑杆上方，两个所述下支撑杆位于两个所述上支撑杆之间，所述上支撑杆和所述下支撑杆上均开设有相对应的卡槽，所述把手通过所述加强板设置在所述左挡板和右挡板上，本实用新型便于石英舟运输的石英舟装置在使用时，通过在左挡板和右挡板远离下支撑杆的一端上设置把手，工作人员通过把手能够快速方便的对石英舟进行搬运，提高了工作效率，也不会碰伤硅片。 | ||
| 搜索关键词： | 便于 石英 运输 装置 | ||
【主权项】：
1.一种便于石英舟运输的石英舟装置，其特征在于：包括两个上支撑杆(1)、两个下支撑杆(2)、左挡板(3)、右挡板(4)、加强板(5)和把手(6)，所述上支撑杆(1)和下支撑杆(2)均设置在所述左挡板(3)和右挡板(4)之间，所述上支撑杆(1)和所述下支撑杆(2)相互平行设置，所述上支撑杆(1)位于所述下支撑杆(2)上方，两个所述下支撑杆(2)位于两个所述上支撑杆(1)之间，所述上支撑杆(1)和所述下支撑杆(2)上均开设有相对应的卡槽(7)，所述把手(6)通过所述加强板(5)设置在所述左挡板(3)和右挡板(4)上，所述把手(6)位于所述左挡板(3)或右挡板(4)远离下支撑杆(2)的一端。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
