[实用新型]一种高效连续曝光机有效
申请号: | 201721138072.8 | 申请日: | 2017-09-06 |
公开(公告)号: | CN207337071U | 公开(公告)日: | 2018-05-08 |
发明(设计)人: | 曾旭 | 申请(专利权)人: | 宁波东盛集成电路元件有限公司;宁波东顺电子科技有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人: | 俞涤炯 |
地址: | 315000 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型公开一种高效连续曝光机,包括曝光平台;传送带装置包括第一带式传送机和若干框架结构;若干框架结构沿第一带式传送机的长度方向设置于第一带式传送机的传送带上;每一框架结构的边缘设有卡嵌孔;若干光强传感器成矩形阵列设置于框架结构内;曝光装置包括第二带式传送机、上下移动装置和若干曝光机;第二带式传送机的传送带沿其长度方向设有若干上下移动装置,每一上下移动装置设有一曝光机,每一曝光机正对一框架结构。本实用新型的通过第一带式传送机和第二带式传送的相对运动,使得待曝光金属片能在移动中进行曝光。 | ||
搜索关键词: | 一种 高效 连续 曝光 | ||
【主权项】:
1.一种高效连续曝光机,其特征在于,包括:曝光平台;传送带装置,所述传送带装置包括第一带式传送机和若干框架结构;若干所述框架结构沿所述第一带式传送机的长度方向设置于所述第一带式传送机的传送带上;每一所述框架结构的边缘设有卡嵌孔;若干光强传感器,若干所述光强传感器成矩形阵列设置于所述框架结构内;曝光装置,所述曝光装置包括第二带式传送机、上下移动装置和若干曝光机;所述第二带式传送机的传送带沿其长度方向设有若干上下移动装置,每一所述上下移动装置设有一曝光机,每一所述曝光机正对一所述框架结构。
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