[实用新型]一种空气动力学反应装置

摘要

本实用新型涉及空气动力学领域，特别是涉及一种空气动力学反应装置。本实用新型提供一种空气动力学反应装置，所述装置包括反应腔和进气整流罩，所述进气整流罩包括进气整流罩流体入口和进气整流罩流体出口，所述进气整流罩流体出口的面积大于进气整流罩流体入口的面积、且所述进气整流罩的内腔的大小自进气整流罩流体入口至进气整流罩流体出口均匀变化，所述反应腔包括反应腔流体入口和反应腔流体出口，所述反应腔流体入口与进气整流罩流体出口相配合。本实用新型所提供的空气动力学反应装置通过整流罩的设计，使气流进入腔体之前先行成稳定的气流，并可以在腔体内形成稳定的层流状态，从而使得表面原子层沉积等反应可以稳定、顺利地进行。

主权项

一种空气动力学反应装置，其特征在于，所述空气动力学反应装置包括反应腔(1)和进气整流罩(2)，所述进气整流罩(2)包括进气整流罩流体入口(21)和进气整流罩流体出口(22)，所述进气整流罩流体出口(22)的面积大于进气整流罩流体入口(21)的面积、且所述进气整流罩(2)的内腔的大小自进气整流罩流体入口(21)至进气整流罩流体出口(22)均匀变化，所述反应腔(1)包括反应腔流体入口(11)和反应腔流体出口(12)，所述反应腔流体入口(11)与进气整流罩流体出口(22)相配合；其中，(d₂‑d₁)V≤1.26ФL_d；d₁为进气整流罩流体入口(21)的流体直径；d₂为进气整流罩流体出口(22)的流体直径；V为反应装置气体流量；Ф为进气整流罩流体出口(22)的周长；L_d为进气整流罩(2)轴线的长度。