[实用新型]一种有效去除气泡的TMA缓冲装置

摘要

本实用新型提供一种有效去除气泡的TMA缓冲装置，包括：防爆柜体，所述防爆柜体内设有缓冲罐，所述缓冲罐外侧设有加热层，所述缓冲罐顶端设有推压入口、物料出口、物料入口，所述推压气体入口上设有推压手动隔膜阀MVP、物料出口手动隔膜阀MVO、物料入口手动隔膜阀MVI，所述推压气体手动隔膜阀上端通过管道连接于气动隔膜阀AV1，所述气动隔膜阀AV1上端通过管道连接于减压阀REG、压力计PG1，所述减压阀REG上端通过管道连接于手动隔膜阀MV5、过滤装置GF1，所述过滤装置GF1连接于自纯化Ar或纯化N2管道输入接口，本实用新型单独配置的缓冲罐，有独立的推送气源和压力控制装置，可以根据机台实际运行参数，来微调整推送压力，从而使得机台工艺运行达到最佳状态。

主权项

1.一种有效去除气泡的TMA缓冲装置，包括：防爆柜体，其特征在于：一所述防爆柜体内设有缓冲罐，所述缓冲罐外侧设有加热层，所述缓冲罐顶端设有推压气体入口、物料出口、物料入口，所述推压气体入口上设有推压手动隔膜阀MVP、物料出口手动隔膜阀MVO、物料入口手动隔膜阀MVI，所述推压手动隔膜阀上端通过管道连接于气动隔膜阀AV1、气动隔膜阀AV2，所述气动隔膜阀AV1上端通过管道连接于减压阀REG、压力计PG1，所述减压阀REG上端通过管道连接于手动隔膜阀MV5、过滤装置GF1，所述过滤装置GF1连接于自纯化Ar或自纯化N2管道输入接口，所述气动隔膜阀AV2上端通过管道连接于手动隔膜阀MV6，手动隔膜阀MV6上端通过管道连接于止回阀CV1，止回阀CV1上端通过管道连接于过滤装置GF2，过滤装置GF2连接于自纯化N2管道，所述物料出口手动隔膜阀MVO上端通过管道连接于压力传感器PT、手动隔膜阀MV 1，压力传感器PT上端通过管道连接于气动隔膜阀AV3、手动隔膜阀MV2，手动隔膜阀MV2上端接至工艺机台，所述手动隔膜阀MV 1通过管道连接于气动隔膜阀AV2与手动隔膜阀MV6之间的管道上，手动隔膜阀MV 1上端的管道上通过管道连接于压力计PG2，压力计PG2通过管道连接于手动隔膜阀MV7、止回阀CV2，止回阀CV2上端的管道上设有手动放气阀MBV，手动放气阀MBV上端通过管道连接于真空泵，所述物料入口手动隔膜阀MVI上端通过管道连接于手动隔膜阀MV3、气动隔膜阀AV4，气动隔膜阀AV4上端通过管道连接于手动隔膜阀MV4，手动隔膜阀MV4上端接自TMA集中供应系统，手动隔膜阀MV3上端通过管道连接于压力计PG2与手动隔膜阀MV7之间的管道上，工艺补料支路与工艺出料支路之间设有手动隔膜阀MV8。