[实用新型]一种替代光刻工艺的印刷设备有效
| 申请号： | 201721149205.1 | 申请日： | 2017-09-08 |
| 公开（公告）号： | CN207388587U | 公开（公告）日： | 2018-05-22 |
| 发明（设计）人： | 齐风;甄辉;王彦君;孙晨光;徐长坡;陈澄;梁效峰;杨玉聪;王晓捧;王宏宇;徐艳超 | 申请（专利权）人： | 天津环鑫科技发展有限公司 |
| 主分类号： | B41F17/00 | 分类号： | B41F17/00 |
| 代理公司： | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人： | 栾志超 |
| 地址： | 300384 天津市西青区*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 一种替代光刻工艺的印刷设备，依次包括片篮上载机、第一翻转机构、第一预定准单元、第一旋转印刷台、第一链式炉上载机、第一链式炉、第一链式炉下载机、第二翻转机构、第二预定准单元、第二旋转印刷台、第二链式炉上载机、第二链式炉、第二链式炉下载机、片篮下载机，且每两个相邻装置之间均通过传送皮带进行连接或对接。本申请的有益效果是：能够缩短原光刻工艺的流程，提高半导体生产效率；减少原流程中化工原料的使用量，有效降低生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 替代 光刻 工艺 印刷 设备 | ||
【主权项】：
1.一种替代光刻工艺的印刷设备，其特征在于：依次包括片篮上载机(1)、第一翻转机构(2)、第一预定准单元(3)、第一旋转印刷台(4)、第一链式炉上载机(5)、第一链式炉(6)、第一链式炉下载机(7)、第二翻转机构(8)、第二预定准单元(9)、第二旋转印刷台(10)、第二链式炉上载机(11)、第二链式炉(12)、第二链式炉下载机(13)、片篮下载机(15)，且每两个相邻装置之间均通过传送皮带进行连接或对接。
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