[实用新型]一种光刻掩膜版

摘要

本实用新型公开了一种光刻掩膜版，包括玻璃基板，预留铬层区，条形码，有效图形铬层区，光刻掩膜版为铬版，铬版为光刻掩膜版由玻璃基板与铬组成，有效图形铬层区位于玻璃基板正面的中间区域，玻璃基板正面边缘、有效图形铬层区的四周设置有预留铬层区，条形码位于预留铬层区一侧中间部位，条形码黑色部分保留铬层本色，预留铬层区内有有效图形铬层区。本实用新型打印出可用于扫描枪直接扫描的条形码，不占用有效图形铬层区，在光刻掩膜版上刻出供扫描枪扫描的标识，可直接实现对光刻掩膜版上条形码扫描将光刻版信息与MES系统及ERP系统就光刻掩膜版唯一身份信息的有效对接，大幅提升光刻掩膜版的管理效率及质量。

主权项

一种光刻掩膜版，包括玻璃基板，预留铬层区，条形码，有效图形铬层区，其特征在于：所述光刻掩膜版为铬版，所述铬版为光刻掩膜版由玻璃基板与铬组成，所述有效图形铬层区位于玻璃基板正面的中间区域，所述玻璃基板正面边缘、有效图形铬层区的四周设置有预留铬层区，所述条形码位于预留铬层区一侧中间部位，所述条形码黑色部分保留铬层本色，所述预留铬层区内有有效图形铬层区。