[实用新型]卡点、石墨舟片及石墨舟有效
| 申请号： | 201721154436.1 | 申请日： | 2017-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN207183244U | 公开（公告）日： | 2018-04-03 |
| 发明（设计）人： | 李苗苗;周海斌 | 申请（专利权）人： | 上海亿横精密机械有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/683 | 分类号： | H01L21/683;H01L21/687 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙)11371 | 代理人： | 李思霖 |
| 地址： | 201600 上海市松江*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种卡点、石墨舟片及石墨舟，涉及太阳能电池制造技术领域。该卡点包括固定部和卡紧部，卡紧部与固定部之间形成有卡槽，固定部用于与石墨舟片可拆卸式固定连接，卡槽用于卡入硅片，卡紧部自其外沿向内设有缺口；该石墨舟片包括舟片本体和上述卡点，舟片本体上沿其长度方向设有多个硅片位，舟片本体上靠近硅片位的位置分散设有多个安装孔，安装孔与卡点的固定部相匹配；该石墨舟，包括上述石墨舟片，石墨舟片为多个且沿其厚度方向依次并列排布，多个石墨舟片的两端均设有相对应的连接孔，位于同一侧的多个连接孔中穿设有石墨杆。缺口的设置大大减少卡紧部对硅片镀膜的遮挡面积，从而提高成品硅片的质量和功能性。 | ||
| 搜索关键词： | 石墨 | ||
【主权项】：
一种卡点，其特征在于，包括固定部(1)和卡紧部(2)，所述卡紧部(2)与所述固定部(1)之间形成有卡槽(3)，所述固定部(1)用于与石墨舟片可拆卸式固定连接，所述卡槽(3)用于卡入硅片(5)；所述卡紧部(2)自其外沿向内设有缺口。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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