[实用新型]生产PBN产品的VGF坩埚用变径型套筒有效
| 申请号： | 201721166626.5 | 申请日： | 2017-09-13 |
| 公开（公告）号： | CN207330366U | 公开（公告）日： | 2018-05-08 |
| 发明（设计）人： | 刘汝强;王殿春;孙蕾;赵旭荣;周清波 | 申请（专利权）人： | 山东国晶新材料有限公司 |
| 主分类号： | C01B21/064 | 分类号： | C01B21/064 |
| 代理公司： | 济南金迪知识产权代理有限公司 37219 | 代理人： | 颜洪岭 |
| 地址： | 251200 *** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及生产PBN产品的VGF坩埚用变径型套筒，包括依次连接的筒身、筒颈和筒头，所述筒颈为空腔圆台体，所述筒身和筒头均为空腔圆柱体，所述筒头的内径与筒颈的上底面内径相同，所述筒身的内径与筒颈的下底面内径相同，筒颈的上底面内径小于筒颈的下底面内径。该变径型套筒在应用到VGF坩埚的生产炉内时，能够更为高效地进行氮化硼沉积，并可使氮化硼能够均匀地沉积在VGF坩埚表面。相比传统的制造工艺，采用变径型套筒此种腔室构造生产出的VGF坩埚，坩埚整体的沉积速率较之前在同种条件下提升10％，从而提高反应气体的利用率，同时VGF坩埚的使用寿命提高30％，具有显著的加工效果和良好的经济价值。 | ||
| 搜索关键词： | 生产 pbn 产品 vgf 坩埚 用变径型 套筒 | ||
【主权项】：
1.生产PBN产品的VGF坩埚用变径型套筒，其特征在于，包括依次连接的筒身、筒颈和筒头，所述筒颈为空腔圆台体，所述筒身和筒头均为空腔圆柱体，所述筒头的内径与筒颈的上底面内径相同，所述筒身的内径与筒颈的下底面内径相同，筒颈的上底面内径小于筒颈的下底面内径。
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