[实用新型]一种单晶炉中石墨坩埚与托盘防粘结结构有效
| 申请号： | 201721172271.0 | 申请日： | 2017-09-13 |
| 公开（公告）号： | CN207347691U | 公开（公告）日： | 2018-05-11 |
| 发明（设计）人： | 秦露露;令狐铁兵;刘要普 | 申请（专利权）人： | 麦斯克电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/10 | 分类号： | C30B15/10;C30B29/06 |
| 代理公司： | 洛阳公信知识产权事务所(普通合伙) 41120 | 代理人： | 狄干强 |
| 地址： | 471000 河南省洛阳*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 一种单晶炉中石墨坩埚与托盘防粘结结构，石墨坩埚设置在单晶炉炉腔内的托盘上，在石墨坩埚的侧壁与底部连接处设置有一环形平台，该环形平台将石墨坩埚的底部隔离成一环状凸台，且该环状凸台放置在托盘上时，托盘的侧壁顶部处于环形平台上；在环形平台与石墨坩埚的侧壁之间设置有环形挡块。本实用新型通过在石墨坩埚与托盘连接的环形平台外部设置环形挡块，环形挡块在环形平台的外侧形成类似于“裙边”的结构，当硅蒸汽凝结的硅液珠流到“裙边”处时，硅液珠凝固在“裙边”上或从“裙边”的底部边缘滴落到炉底，这样就阻止了硅液珠流入石墨坩埚和坩埚托盘之间连接的环形平台上，进而避免了石墨坩埚与托盘的粘结。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶炉中 石墨 坩埚 托盘 粘结 结构 | ||
【主权项】：
1.一种单晶炉中石墨坩埚与托盘防粘结结构，所述石墨坩埚（2）设置在单晶炉炉腔内的托盘（1）上，其特征在于：在石墨坩埚（2）的侧壁与底部连接处设置有一环形平台（201），该环形平台（201）将石墨坩埚（2）的底部隔离成一环状凸台（202），且该环状凸台（202）放置在托盘（1）上时，托盘（1）的侧壁（101）顶部处于环形平台（201）上；在环形平台（201）与石墨坩埚（2）的侧壁之间设置有环形挡块（3），且环形挡块（3）的内壁（303）与托盘（1）的侧壁（101）间具有间隙，环形挡块（3）的外壁（301）与石墨坩埚（2）的侧壁形成平滑过渡。
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