[实用新型]一种用于石英坩埚喷涂的喷罐有效
申请号: | 201721182269.1 | 申请日: | 2017-09-15 |
公开(公告)号: | CN207385763U | 公开(公告)日: | 2018-05-22 |
发明(设计)人: | 张嵘;刘久明;吴诚 | 申请(专利权)人: | 河北高富氮化硅材料有限公司 |
主分类号: | B05B11/00 | 分类号: | B05B11/00;B05B15/40 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 054300 河北省邢*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种用于石英坩埚喷涂的喷罐,包括罐体、罐盖和与罐盖连接的喷涂装置,所述罐体内部设置有滤网,所述喷涂装置包括电动气压阀、输液管连接杆及雾化喷头,所述输液管固定在罐盖上,所述滤网设置在罐体内部靠近罐盖的位置,所述输液管底部设置有滤网,所述输液管伸到距罐体底部1cm的位置。本实用新型在罐体内部靠近罐盖的位置设置滤网,可以将转入罐体内部的氮化硅浆料中的颗粒物过滤出来,设置在输液管底部的滤网会在喷涂时再次将浆料中的颗粒物过滤出来,输液管伸到距罐体底部1cm的设计,避免了沉积在罐体底部的颗粒物流入输液管,实现稳定喷涂,制得的涂层均匀性和致密性更好,隔绝性能更优。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 石英 坩埚 喷涂 | ||
【主权项】:
1.一种用于石英坩埚喷涂的喷罐,其特征在于所述喷罐包括罐体、罐盖和与罐盖连接的喷涂装置,所述罐体内部设置有滤网,所述喷涂装置包括电动气压阀、输液管、连接杆及雾化喷头,所述输液管固定在罐盖上。
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