[实用新型]硅片承载孔个数可调式石墨框

摘要

本实用新型涉及机械技术领域。硅片承载孔个数可调式石墨框，包括一石墨框，石墨框包括母框与子框；母框上开设有24个硅片承载孔，24个硅片承载孔呈四行六列排布；子框上开设有6个硅片承载孔，6个硅片承载孔呈一行六列排布；母框与子框通过连接机构可拆卸连接，连接机构包括开设在母框上的滑槽，一设置在子框上的条状凸起，滑槽与条状凸起滑动连接，滑槽的引导方向为横向；母框的前后两侧均开设有滑槽。本专利将传统一体化成型的石墨框改良为分体式，便于根据不同的生产需求，增加子框的个数，实现加工的硅片个数的实时调整，实现不同的产能需求。

主权项

硅片承载孔个数可调式石墨框，包括一石墨框，其特征在于，所述石墨框包括母框与子框；所述母框上开设有24个硅片承载孔，24个硅片承载孔呈四行六列排布；所述子框上开设有6个硅片承载孔，6个硅片承载孔呈一行六列排布；所述母框与所述子框通过连接机构可拆卸连接，所述连接机构包括开设在母框上的滑槽，一设置在子框上的条状凸起，所述滑槽与所述条状凸起滑动连接，所述滑槽的引导方向为横向；所述母框的前后两侧均开设有所述滑槽，且母框的上表面刻设有长度方向为纵向的第一刻度线；所述子框的上表面靠近设有条状凸起侧也刻设有长度方向为纵向的第二刻度线；所述第一刻度线距离所述母框左侧的间距等于第二刻度线距离所述子框左侧的间距。