[实用新型]一种硅片支架有效
| 申请号： | 201721187908.3 | 申请日： | 2017-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN207458904U | 公开（公告）日： | 2018-06-05 |
| 发明（设计）人： | 王敏;赵习靖;唐蓉 | 申请（专利权）人： | 无锡恒大电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214100 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种硅片支架，包括连接座和连接在连接座上的挡杆；所述连接座包括中心连接部和四个由中心连接部向外延伸的脚部；所述脚部具有水平延伸的第一边沿和与第一边沿垂直的第二边沿；相邻的所述脚部的第一边沿在同一直线上，相邻的所述脚部的第二边沿在同一直线上；所述四个脚部的第一边沿和第二边沿的延长线形成一个矩形区域；本技术方案相对现有技术的进步在于，减少了硅片支架的制造成本，同时方便机器设备拿取所述硅片。 | ||
| 搜索关键词： | 脚部 硅片支架 连接座 中心连接部 同一直线 本实用新型 机器设备 矩形区域 制造成本 垂直的 线形成 硅片 挡杆 拿取 延伸 | ||
【主权项】：
一种硅片支架，其特征在于，包括连接座和连接在连接座上的挡杆；所述连接座包括中心连接部和四个由中心连接部向外延伸的脚部；所述脚部具有水平延伸的第一边沿和与第一边沿垂直的第二边沿；相邻的所述脚部的第一边沿在同一直线上，相邻的所述脚部的第二边沿在同一直线上；所述四个脚部的第一边沿和第二边沿的延长线形成一个矩形区域。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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