[实用新型]一种单晶硅拉晶炉含油尘富氩尾气回收系统

摘要

本实用新型提出了一种单晶硅拉晶炉含油尘富氩尾气回收系统，包括依次管道连接的真空泵、风机、H型管、旋风除尘器、脱油吸附筒和布袋除尘器，所述布袋除尘器出气口设有氧含量检测仪，且布袋除尘器出气口通过两个分支管道分别连接至副气囊和主气囊，两个分支管道上分别设置第一调节阀和第二调节阀；所述副气囊通过带有第三调节阀的管道连通至主气囊，所述主气囊通过管道连接至空气压缩机；所述氧含量检测仪电路连接至控制器，所述控制器分别连接第一调节阀、第二调节阀和第三调节阀。本实用新型不改变炉体控制系统，将排放的空气和富氩气全部回收，再经过提纯处理得到高纯氩气，而且整个系统可以彻底清除油和灰尘。

主权项

一种单晶硅拉晶炉含油尘富氩尾气回收系统，其特征在于，包括依次管道连接的真空泵(1)、风机(2)、H型管(3)、旋风除尘器(4)、脱油吸附筒(5)和布袋除尘器(6)，所述布袋除尘器(6)出气口设有氧含量检测仪(7)，且布袋除尘器(6)出气口通过两个分支管道分别连接至副气囊(9)和主气囊(12)，两个分支管道上分别设置第一调节阀(8)和第二调节阀(10)；所述副气囊(9)通过带有第三调节阀(11)的管道连通至主气囊(12)，所述主气囊(12)通过管道连接至空气压缩机；所述氧含量检测仪(7)电路连接至控制器，所述控制器分别连接第一调节阀(8)、第二调节阀(10)和第三调节阀(11)。