[实用新型]自动硅片清洗机挂篮挂构装置有效
| 申请号： | 201721193253.0 | 申请日： | 2017-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN207325545U | 公开（公告）日： | 2018-05-08 |
| 发明（设计）人： | 郭锐 | 申请（专利权）人： | 常州银河世纪微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B13/00 | 分类号： | B08B13/00 |
| 代理公司： | 常州市科谊专利代理事务所 32225 | 代理人： | 孙彬 |
| 地址： | 213022 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种自动硅片清洗机挂篮挂构装置，包括用于安装在自动硅片清洗机上的挂钩以及与挂钩配合使用的挂篮，所述挂钩包括左右两个挂板，并且左右挂板设置为：两个挂板的上端形成的开口大于两个挂板的下端形成的开口；所述挂篮的两侧壁上安装有用于挂接在上述挂钩的两个挂板内的轴承，所述轴承位于挂篮的侧壁的内部，所述轴承由两个挂板的上端开口进入，随着两个挂板间距离的变小，轴承挂在两个挂板内，由挂钩带着移动至目标位置。本实用新型提供一种自动硅片清洗机挂篮挂构装置，采用柔性接触轴承连接，挂篮挂构可牢固连接的范围大。 | ||
| 搜索关键词： | 自动 硅片 清洗 挂篮 装置 | ||
【主权项】：
1.一种自动硅片清洗机挂篮挂构装置，其特征在于：包括用于安装在自动硅片清洗机上的挂钩(1)以及与挂钩(1)配合使用的挂篮(2)，所述挂钩(1)包括左右两个挂板，并且左右挂板设置为：两个挂板的上端形成的开口大于两个挂板的下端形成的开口；所述挂篮(2)的两侧壁(5)上安装有用于挂接在上述挂钩(1)的两个挂板内的轴承(3)，所述轴承(3)位于挂篮(2)的侧壁(5)的内部，所述轴承(3)由两个挂板的上端开口进入，随着两个挂板间距离的变小，轴承(3)挂在两个挂板内，由挂钩(1)带着移动至目标位置。
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