[实用新型]太阳能电池背腐蚀的上料装置有效
申请号: | 201721197439.3 | 申请日: | 2017-09-19 |
公开(公告)号: | CN207909847U | 公开(公告)日: | 2018-09-25 |
发明(设计)人: | 陈光 | 申请(专利权)人: | 中建材浚鑫科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L31/18 |
代理公司: | 南京苏科专利代理有限责任公司 32102 | 代理人: | 姚姣阳 |
地址: | 214400 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型揭示了一种上料装置,该上料装置由电机、伸缩轨道、侧向移片单元、传输轨道、翻片机构、相对传输轨道尾段垂直方向的传送带及顶升气缸构成,其中该伸缩轨道一端衔接花篮底部并设有限制硅片打滑的挡块;该侧向移片单元跨接于伸缩轨道和传输轨道尾段之间;该传输轨道首段与伸缩轨道另一端相接续,该翻片机构设于传输轨道首段与尾段之间并用于180°翻转硅片、衔接传输;该传送带受控于顶升气缸高出或低落于传输轨道尾段的传送平面,该伸缩轨道、传输轨道和传送带均受驱传动于各自的电机。本实用新型该上料装置的应用实施,省却了检查硅片扩散面朝上的步骤,有利于防止硅片走偏,大幅提升了背腐蚀单次上料的载片总数及准确性。 | ||
搜索关键词: | 传输轨道 伸缩轨道 上料装置 尾段 传送带 硅片 侧向 本实用新型 顶升气缸 翻片机构 首段 电机 腐蚀 太阳能电池 传送平面 硅片扩散 衔接 翻转 朝上 传动 打滑 挡块 跨接 上料 受控 载片 接续 花篮 传输 应用 检查 | ||
【主权项】:
1.太阳能电池背腐蚀的上料装置,以竖置的花篮底部为起点,花篮每条槽中载有背靠背叠放的两片硅片,其特征在于:所述上料装置由电机、伸缩轨道、侧向移片单元、传输轨道、翻片机构、相对传输轨道尾段垂直方向的传送带及顶升气缸构成,其中所述伸缩轨道一端衔接花篮底部并设有限制硅片打滑的挡块;所述侧向移片单元跨接于伸缩轨道和传输轨道尾段之间;所述传输轨道首段与伸缩轨道另一端相接续,所述翻片机构设于传输轨道首段与尾段之间并用于180°翻转硅片、衔接传输;所述传送带受控于顶升气缸高出或低落于传输轨道尾段的传送平面,所述伸缩轨道、传输轨道和传送带均受驱传动于各自的电机。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造