[实用新型]一种加热装置有效
| 申请号： | 201721197623.8 | 申请日： | 2017-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN207489805U | 公开（公告）日： | 2018-06-12 |
| 发明（设计）人： | 应力平;裴雷洪;严骏;石庆球 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 俞涤炯 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及半导体技术，尤其涉及一种加热装置，应用于加热一离子注入机的加热炉内的固体源，包括：一金属棒，设置于加热炉内；一线圈，缠绕金属棒设置；以及线圈包括两个电源端口，两个电源端口用以连接高频交变电流；上述技术方案所产生的有益效果是：使得加热炉的升温效率变高，降低了离子注入前的反应时间。 | ||
| 搜索关键词： | 加热炉 电源端口 加热装置 金属棒 高频交变电流 半导体技术 本实用新型 离子注入机 固体源 加热 缠绕 离子 应用 | ||
【主权项】：
一种加热装置，应用于加热一离子注入机的加热炉内的固体源，其特征在于，包括：一金属棒，设置于所述加热炉内；一线圈，缠绕所述金属棒设置；以及所述线圈包括两个电源端口，所述两个电源端口用以连接高频交变电流。
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