[实用新型]一种防机械臂压篮的保护装置有效
| 申请号： | 201721223222.5 | 申请日： | 2017-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN207929651U | 公开（公告）日： | 2018-10-02 |
| 发明（设计）人： | 左国军;夏傲雪 | 申请（专利权）人： | 常州捷佳创精密机械有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/04 | 分类号： | B08B3/04;B08B13/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 深圳市康弘知识产权代理有限公司 44247 | 代理人： | 尹彦;胡朝阳 |
| 地址： | 213000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种防机械臂压篮的保护装置，所述的机械臂设于硅片清洗设备上方，所述的保护装置包括：设于机械臂上用于检测硅片篮的多个传感器；与所述传感器电连接的PLC控制器；以及与所述PLC控制器连接的报警装置。本实用新型在硅片篮发生叠压之前自动使机械臂停止工作，有效防止硅片篮叠压触碰，避免硅片篮和加工件的损坏。 | ||
| 搜索关键词： | 机械臂 硅片篮 保护装置 本实用新型 传感器 叠压 硅片清洗设备 报警装置 电连接 加工件 触碰 检测 | ||
【主权项】：
1.一种防机械臂压篮的保护装置，所述的机械臂设于硅片清洗设备上方，其特征在于，所述的保护装置包括：设于机械臂上用于检测硅片篮的多个传感器,用于检测硅片篮是否被提起，当机械臂的机械手上无篮时传感器状态为常开信号，当机械手上有篮时传感器状态为常闭信号；与所述传感器电连接的PLC控制器，用于接收传感器发送的信号，判断机械臂是否为空载状态；以及与所述PLC控制器连接的报警装置。
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