[实用新型]晶圆电镀辅助阳极有效
| 申请号： | 201721225038.4 | 申请日： | 2017-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN208151514U | 公开（公告）日： | 2018-11-27 |
| 发明（设计）人： | 朱虬;何中见 | 申请（专利权）人： | 无锡鼎亚电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C25D17/12 | 分类号： | C25D17/12;C25D7/12 |
| 代理公司： | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人： | 程爽 |
| 地址： | 214154 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供的晶圆电镀辅助阳极，包括六方体、电镀面、圆柱棒。其中，所述六方体设计成空心结构，所述圆柱棒焊接在所述六方体的上面，所述电镀面设置在所述六方体的前面、后面、左面或右面的任意一面上，所述电镀面呈圆形的薄片且所述电镀面的直径与晶圆直径相同并所述电镀面上设置有有规律排列的小孔。通过本实用新型，以解决现有技术存在的晶圆中心的电镀层厚度和晶圆边缘的电镀层厚度存在较大偏差的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 电镀 六方体 晶圆 本实用新型 辅助阳极 电镀层 电镀面 圆柱棒 规律排列 晶圆边缘 晶圆中心 空心结构 小孔 左面 焊接 | ||
【主权项】：
1.一种晶圆电镀辅助阳极，其特征在于，包括六方体(1)、电镀面(3)、圆柱棒(2)，所述六方体(1)设计成空心结构，所述圆柱棒(2)焊接在所述六方体(1)的上面，所述电镀面(3)设置在所述六方体(1)的前面、后面、左面或右面的任意一面上，所述电镀面(3)呈圆形的薄片且所述电镀面(3)的直径与晶圆直径相同并所述电镀面(3)上设置有有规律排列的小孔(4)。
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