[实用新型]一种涂布设备有效
申请号: | 201721227609.8 | 申请日: | 2017-09-22 |
公开(公告)号: | CN207770174U | 公开(公告)日: | 2018-08-28 |
发明(设计)人: | 何佳新;柯健;徐芸 | 申请(专利权)人: | 昆山龙腾光电有限公司 |
主分类号: | B05B13/04 | 分类号: | B05B13/04;B05B13/02;B05D3/04 |
代理公司: | 北京成创同维知识产权代理有限公司 11449 | 代理人: | 蔡纯;张靖琳 |
地址: | 215301 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 公开了一种涂布设备,包括:基台,用于承载待涂布的基板;喷头,可以移动地位于基台上方,用于涂布基板;干燥装置,位于基台上;以及传动装置,与干燥装置连接,用于将干燥装置传动至基板上方或将所述干燥装置从所述基板上方撤离。本实用新型的涂布设备的干燥装置喷出干燥气体可以在短时间内赶走涂布溶液薄膜附近的湿润空气,使涂布溶液薄膜快速凝固,从而避免在涂布完成或者涂布过程中,涂布溶液薄膜与除尘室内湿润气体长时间接触而发生缓慢反应,最终导致被涂布基板劣化。 | ||
搜索关键词: | 干燥装置 涂布溶液薄膜 涂布设备 基板 涂布基板 喷头 本实用新型 传动装置 干燥气体 快速凝固 湿润空气 湿润气体 涂布过程 移动地 除尘 传动 基台 劣化 喷出 撤离 承载 室内 | ||
【主权项】:
1.一种涂布设备,其特征在于,包括:基台,用于承载待涂布的基板;喷头,可移动地位于所述基台上方,用于涂布所述基板;干燥装置,位于所述基台上;以及传动装置,与所述干燥装置连接,用于将所述干燥装置传动至所述基板上方或将所述干燥装置从所述基板上方撤离。
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