[实用新型]一种真空泵N+1系统装置有效
| 申请号： | 201721228892.6 | 申请日： | 2017-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN207393438U | 公开（公告）日： | 2018-05-22 |
| 发明（设计）人： | 范小超;熊颖斌;谭建 | 申请（专利权）人： | 中航（重庆）微电子有限公司 |
| 主分类号： | F04B41/06 | 分类号： | F04B41/06;F04B39/10 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 俞涤炯 |
| 地址： | 401331 *** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种真空泵N+1系统装置，包括：若干炉管设备；若干真空泵，每一真空泵分别与一炉管设备相连接，每一真空泵和一炉管设备之间设有一单向阀；若干预警装置，每一真空泵设置有一预警装置；一真空备泵，若干炉管设备均与真空备泵相连接，真空备泵与若干炉管设备之间均设有一电磁阀，真空备泵与若干预警装置均信号连接，若干预警装置分别与若干电磁阀信号连接；一排放装置，若干真空泵和真空备泵均与排放装置相连接。本实用新型加装后真空泵N+1系统装置后，当系统中某一台后机台真空泵出现异常时，所对应的主机台真空将不在后影响，避免产品因真空异常造成回灌而报废。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空泵 系统 装置 | ||
【主权项】：
1.一种真空泵N+1系统装置，其特征在于，包括：若干炉管设备；若干真空泵，每一所述真空泵分别与一所述炉管设备相连接，每一所述真空泵和一所述炉管设备之间设有一单向阀；若干预警装置，每一所述真空泵设置有一所述预警装置；一真空备泵，若干所述炉管设备均与所述真空备泵相连接，所述真空备泵与若干所述炉管设备之间均设有一电磁阀，所述真空备泵与若干所述预警装置均信号连接，若干所述预警装置分别与若干所述电磁阀信号连接；一排放装置，若干所述真空泵和所述真空备泵均与所述排放装置相连接。
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