[实用新型]图像投影装置及系统有效
申请号: | 201721232612.9 | 申请日: | 2017-02-24 |
公开(公告)号: | CN207337072U | 公开(公告)日: | 2018-05-08 |
发明(设计)人: | D·马克莱;T·L·莱迪戈;T·N·托马斯;陈正方 | 申请(专利权)人: | 应用材料公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人: | 徐金国 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本实用新型总体涉及图像投影装置及系统,图像投影装置包括倾斜反射镜和受抑立方体形组件以及数字微镜器件。受抑立方体形组件具有:第一棱镜,所述第一棱镜具有第一表面、第二表面和第一斜边;以及第二棱镜,所述第二棱镜具有第三表面、第四表面和第二斜边。第一斜边和第二斜边面向彼此,并以气隙隔开。受抑立方体形组件可以包括与第二表面相邻的倾斜反射镜。第二表面可为反射衍射光栅。光以法向入射角并沿单一光轴穿过图像投影系统来反射到与受抑立方体形组件相邻的数字微镜器件(DMD)。入射在DMD上的光的方向使得从“打开”反射镜反射的光沿着DMD表面的法线并与斜边成45度来引导。输入光束和输出光束是平行的。 | ||
搜索关键词: | 图像 投影 装置 系统 | ||
【主权项】:
1.一种图像投影装置,包括:倾斜反射镜;受抑立方体形组件,包括:第一棱镜,所述第一棱镜被配置成接收从光源进入所述图像投影装置的光束,所述第一棱镜与所述倾斜反射镜相邻,所述第一棱镜被配置成将所述光束引导至所述倾斜反射镜;以及第二棱镜,所述第二棱镜被配置成接收从所述倾斜反射镜反射的所述光束;以及数字微镜器件,所述数字微镜器件与所述第二棱镜相邻,所述数字微镜器件被定位成接收来自所述第二棱镜的所述光束,所述数字微镜器件进一步被配置成在与所述光束进入所述图像投影装置的平面实质上平行的平面中将所述光束反射回去穿过所述第二棱镜并且到达基板,所述倾斜反射镜和所述数字微镜器件被定位在所述受抑立方体形组件的相对侧上。
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