[实用新型]一种硅片生产用炉体自动上下料机构有效
| 申请号： | 201721238194.4 | 申请日： | 2017-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN207395484U | 公开（公告）日： | 2018-05-22 |
| 发明（设计）人： | 牛慧锋;徐长坡;陈澄;梁效峰;杨玉聪;甄辉;齐风;李亚哲;黄志焕;王晓捧;王宏宇;王鹏;徐艳超 | 申请（专利权）人： | 天津环鑫科技发展有限公司 |
| 主分类号： | F27D3/00 | 分类号： | F27D3/00;C30B33/02 |
| 代理公司： | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人： | 栾志超 |
| 地址： | 300380 天津市西青区*** | 国省代码： | 天津;12 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供一种硅片生产用炉体自动上下料机构，包括炉体本体，炉体本体连接设备框架，设备框架上依次设置上料机构、下料机构，上料机构与水平面设置小于10°的倾角，设备框架上设置机械手，用于抓取移载硅片，上料机构、下料机构和机械手均通过控制系统控制，本实用新型的有益效果是采用机械自动化设备替代现有的人工取片，利用设备自动化减少人工作业量及作业强度，作业员可同时兼顾其他设备进行作业，降低了人员数量及人员成本，消除人工作业失误造成的破片率高的损失，亦可避免手动作业造成的硅片污染。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 生产 用炉体 自动 上下 机构 | ||
【主权项】：
1.一种硅片生产用炉体自动上下料机构，包括炉体本体，其特征在于：所述炉体本体连接设备框架，所述设备框架上依次设置上料机构、下料机构，所述上料机构与水平面设置小于10°的倾角，所述设备框架上设置机械手，用于抓取移载硅片，所述上料机构、所述下料机构和所述机械手均通过控制系统控制。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于天津环鑫科技发展有限公司，未经天津环鑫科技发展有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201721238194.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
