[实用新型]圆形硅片装载装置有效

专利信息
申请号: 201721238491.9 申请日: 2017-09-26
公开(公告)号: CN207398098U 公开(公告)日: 2018-05-22
发明(设计)人: 牛慧锋;徐长坡;陈澄;梁效峰;杨玉聪;甄辉;齐风;李亚哲;黄志焕;王晓捧;王宏宇;王鹏;徐艳超 申请(专利权)人: 天津环鑫科技发展有限公司
主分类号: H01L21/673 分类号: H01L21/673;H01L21/677
代理公司: 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 代理人: 栾志超
地址: 300380 天津市西青区*** 国省代码: 天津;12
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摘要: 实用新型提供圆形硅片装载装置,包括槽棍、第一吊装板和第二吊装板,第一吊装板和第二吊装板分别设置在槽棍两端,槽棍与第一吊装板、槽棍与第二吊装板均采用螺纹连接,第一吊装板和第二吊装板上均设置吊装口,吊装口设置在第一吊装板和第二吊装板的顶部,槽棍上设置片槽,片槽结构为下部具有固定槽的V形槽,固定槽的底部为平面。本实用新型的有益效果是两侧吊装板设置两处吊钩状吊装口,方便硅片装载装置的吊装运输,也能够保证硅片装载装置吊装过程的稳定性,同时留有导水口,装满硅片的硅片装载装置浸水时,减弱水浮力以及水对硅片挤压力,以防硅片被冲出硅片装载装置,致使不必要的损失。
搜索关键词: 圆形 硅片 装载 装置
【主权项】:
1.圆形硅片装载装置,其特征在于:包括槽棍、第一吊装板和第二吊装板,所述第一吊装板和所述第二吊装板分别设置在所述槽棍两端,所述槽棍与所述第一吊装板、所述槽棍与所述第二吊装板均采用螺纹连接,所述第一吊装板和所述第二吊装板上均设置吊装口,所述吊装口设置在所述第一吊装板和所述第二吊装板的顶部,所述槽棍上设置片槽,所述片槽结构为下部具有固定槽的V形槽,所述固定槽的底部为平面。
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