[实用新型]一种晶圆片清洗装置

摘要

本实用新型公开了一种晶圆片清洗装置，包括清洗槽，所述清洗槽内底部竖直设有一根转轴；所述转轴通过设于清洗槽内的电机驱动旋转；所述转轴的上部轴壁上阵列排布有若干夹持臂；所述夹持臂包括水平固定连接在转轴轴壁上的滑轨；所述滑轨远离转轴的一端上部固定连接有一个固定块；所述固定块的上表面具有一个圆弧槽一；所述滑轨上还滑动块连接有一个滑块；所述滑块的上表面具有一个与圆弧槽一相对的圆弧槽二；所述滑块靠近转轴一端的端面通过弹簧一连接在转轴上，且所述弹簧一套设于滑轨上；本实用新型结构合理，采用机械清洗的方式，可以对晶圆片进行边冲洗，边清刷；而且一次能够清洁多片晶圆片。

主权项

1.一种晶圆片清洗装置，包括清洗槽（1），其特征在于：所述清洗槽（1）内底部竖直设有一根转轴（3）；所述转轴（3）通过设于清洗槽（1）内的电机（2）驱动旋转；所述转轴（3）的上部轴壁上阵列排布有若干夹持臂（4）；所述夹持臂（4）包括水平固定连接在转轴（3）轴壁上的滑轨（401）；所述滑轨（401）远离转轴（3）的一端上部固定连接有一个固定块（402）；所述固定块（402）的上表面具有一个圆弧槽一（403）；所述滑轨（401）上还滑动块连接有一个滑块（404）；所述滑块（404）的上表面具有一个与圆弧槽一（403）相对的圆弧槽二（405）；所述滑块（404）靠近转轴（3）一端的端面通过弹簧一（406）连接在转轴（3）上，且所述弹簧一（406）套设于滑轨（401）上；所述清洗槽（1）的一侧内壁上设有一个水平设置的安装板（5）；所述安装板（5）下部设有一个刷毛朝下的毛刷（6）；所述清洗槽（1）另一侧内壁上设有一根竖直设置且位于固定块（402）上方的喷水管（7），其中所述喷水管（7）位于清洗槽（1）内的一端封闭且下管壁上具有若干出水孔（8）；所述喷水管（7）的进水端通过连接管（9）连接有水泵（10）；所述水泵（10）与水箱（11）连接。