[实用新型]一种真空镀膜除气机构

摘要

本实用新型揭示了一种真空镀膜除气机构，包括外壳，外壳内形成有真空腔体，真空腔体内设有转动辊，转动辊内形成有一容置空间，容置空间内填充有导热油；电热丝，电热丝设置在容置空间内，以加热导热油；热电偶，热电偶也设置在容置空间内，以监测导热油的温度；第一转动电极，第一转动电极与电热丝电性连接；第二转动电极，第二转动电极与热电偶通信连接；转动辊通过轴承和轴承座配合与外壳连接。本实用新型采用第一转动电极为电热丝供电，加热转动辊内的导热油，导热油将热量均匀传递到整个转动辊，基材在与转动辊辊面接触时被均匀加热，可以快速除去基材表面的杂气，具有除气效率高的优点。

主权项

一种真空镀膜除气机构，其特征在于，包括外壳，所述外壳内形成有真空腔体，所述真空腔体内设有转动辊，所述转动辊内形成有一容置空间，所述容置空间内填充有导热油；电热丝，所述电热丝设置在所述容置空间内，以加热导热油；热电偶，所述热电偶也设置在所述容置空间内，以监测导热油的温度；第一转动电极，所述第一转动电极与所述电热丝电性连接；第二转动电极，所述第二转动电极与所述热电偶通信连接；所述转动辊通过轴承和轴承座配合与所述外壳连接。