[实用新型]一种分散进液的进液结构及具有该结构的刻蚀装置

摘要

本实用新型涉及光伏和半导体生产设备技术领域，尤其涉及一种分散进液的进液结构及具有该结构的刻蚀装置。本实用新型的分散进液的进液结构包括反应槽、固定架、进液口和分液板，固定架固定在反应槽内，且用于固定待处理的产品，反应槽上设有进液口，分液板设置在进液口与固定架之间，由进液口进入反应槽内的液体、通过分液板均匀分流，从而既能将进入反应槽的液体均匀的打散分流，又能保证进液的均匀性，有效保护待加工的产品，防止其由于在后进入反应槽内的液体流速过快、流量过大、或流速不均，而使产品受到直接冲击，从而避免产品的质量受到影响，同时还能减少产品的破碎率，有效减少工艺过程中产品的浪费。

主权项

1.一种分散进液的进液结构，其特征在于，包括反应槽、固定架、进液口和分液板，所述固定架固定在反应槽内，且用于固定待处理的产品，所述反应槽上设有进液口，所述分液板设置在所述进液口与固定架之间，由所述进液口进入反应槽内的液体、通过所述分液板均匀分流。