[实用新型]刻蚀下料新型导向机构

摘要

本实用新型公开了刻蚀下料新型导向机构，包括机架，所述机架上均匀分布设有传送架，所述传送架上设有传送带，所述传送架沿传送带传送方向两外侧壁上对称设有导向条，所述导向条的长轴方向与传送带的传送方向平行；所述传送带用于传送硅片，所述硅片的底部同时与传送带两侧的导向条摩擦接触，且导向条与硅片的接触面积沿传送方向逐渐增大。本实用新型采用安装于传送带两侧的导向条进行导向，可有效防止破片问题，避免发生大规模卡片事故。

主权项

1.刻蚀下料新型导向机构，包括机架(1)，所述机架(1)上均匀分布设有传送架(2)，所述传送架(2)上设有传送带(3)，其特征在于，所述传送架(2)沿传送带(3)传送方向两外侧壁上对称设有导向条(4)，所述导向条(4)的长轴方向与传送带(3)的传送方向平行；所述传送带(3)用于传送硅片(5)，所述硅片(5)的底部同时与传送带(3)两侧的导向条(4)摩擦接触，且导向条(4)与硅片(5)的接触面积沿传送方向逐渐增大。