[实用新型]流体系统

摘要

一种集成化制出的流体系统，包含一流体作动区、一流体通道、一汇流腔室以及多个阀，该流体作动区由一或多个导流单元所构成，各导流单元由入口板、基材、共振板、致动板以及出口板依序堆叠所构成，致动板更贴附一压电元件，以受驱使振动而使流体导入该导流单元并加压导出。该流体通道连通流体作动区，且具有多个分歧通道以分流流体作动区所传输的流体。汇流腔室连通流体通道。多个阀分别设置于该多个分歧通道中，借由控制其启闭状态而控制流体由该分歧通道中输出。透过以上设置，可获取特定流量、压力与传输量的流体输出。

主权项

1.一种流体系统，集成化制出，其特征在于，包含:一流体作动区，由至少一个导流单元所构成，该导流单元包含：一入口板，具有至少一入口孔；一基材；一共振板，具有一中空孔洞，且该共振板与该入口板之间具有一第一腔室；一致动板，具有一个悬浮部及一外框部及至少一空隙；一压电元件，贴附于该致动板的该悬浮部的一表面；以及一出口板，具有一出口孔；其中，该入口板、该基材、该共振板、该致动板及该出口板是依序对应堆叠设置，该共振板及该致动板之间具有一间隙形成一第二腔室，该致动板及该出口板之间形成一第三腔室，该压电元件驱动该致动板产生弯曲共振，以使该第二腔室及该第三腔室形成一压力差，使流体由该入口板的该入口孔进入该第一腔室而流经该共振板的该中空孔洞，以进入该第二腔室内，并由该至少一空隙导入该第三腔室内，且由该出口板的该出口孔导出以传输流体；一流体通道，连通该流体作动区的该出口孔，并具有多个分歧通道，使该流体作动区所传输的流体得以分流构成需求传输量；一汇流腔室，连通于该流体通道中，供流体累积在该汇流腔室内；一感测元件，设置于该流体通道中，用以感测该流体通道内的流体；以及多个阀，设置于该分歧通道中，借由控制其启闭状态而控制流体由该分歧通道中输出。