[实用新型]石英袖管安装治具有效
| 申请号： | 201721296931.6 | 申请日： | 2017-10-10 |
| 公开（公告）号： | CN207233709U | 公开（公告）日： | 2018-04-13 |
| 发明（设计）人： | 喻泽锋;孟宪宇;张红伟;吴宗祐;林宗贤 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙)31294 | 代理人： | 孙佳胤,董琳 |
| 地址： | 223300 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种石英袖管安装治具，所述石英袖管包括第一石英袖管和第二石英袖管，所述石英袖管安装于炉管机台的排气管路内时，所述第一石英袖管和第二石英袖管的第一端分别固定于排气管路的两端，所述第二石英袖管的第二端套接于所述第一石英袖管的第二端外，所述石英袖管安装治具包括插入部，为管状，用于当石英袖管安装于炉管机台的排气管路内时，从第二石英袖管的第一端内向第二端方向插入；底座，与所述插入部连接，所述底座用于在插入部插入第二石英袖管内时，卡于所述第二石英袖管外。 | ||
| 搜索关键词： | 石英 袖管 安装 | ||
【主权项】：
一种石英袖管安装治具，所述石英袖管包括第一石英袖管和第二石英袖管，所述石英袖管安装于炉管机台的排气管路内时，所述第一石英袖管和第二石英袖管的第一端分别固定于排气管路的两端，所述第二石英袖管的第二端套接于所述第一石英袖管的第二端外，其特征在于，所述石英袖管安装治具包括：插入部，为管状，用于当石英袖管安装于炉管机台的排气管路内时，从第二石英袖管的第一端内向第二端方向插入；底座，与所述插入部连接，所述底座用于在插入部插入第二石英袖管内时，卡于所述第二石英袖管外。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
