[实用新型]一种纳米硅粉制备的加热装置

摘要

本实用新型公开了一种纳米硅粉制备的加热装置，包括硅粉输送管道、硅升华通道和等离子电弧加热器。其通过等离子电弧加热器瞬间产生的超高温使硅粉升华成硅蒸汽，以达到纳米硅粉制备过程中加热的工艺要求。本实用新型的优点在于驱动系统电压可控，等离子电弧加热器的输入功率可通过改变阴阳极间间距调节，从结构上实现对该实用加热温度的调控；等离子电弧加热器水冷内循环，阴阳极水冷管道一体化简化了水冷系统，增大了水冷接触面，提高了冷却效率。

主权项

一种纳米硅粉制备的加热装置，其特征在于：包括硅粉输送管道(1)、硅升华通道(2)和等离子电弧加热器(8)，等离子电弧加热器(8)由阳极(3)、阴极(6)、外绝缘保护套(4)、内绝缘填料(5)和驱动系统(7)构成，驱动系统包括驱动螺杆(701)、驱动调节器(702)、变压器(703)、驱动电机(704)和驱动螺孔(705)，驱动电机(704)与驱动调节器(702)电性连接，阳极喷嘴(301)与硅升华通道(2)相连通，外绝缘保护套(4)内填有内绝缘填料(5)，阳极水冷空腔(303)、冷却水出口(304)、冷却水管道(305)、阴极冷却水通道(601)、阴极水冷空腔(603)和冷却水进水管(604)构成了水冷回路，阴极外壁设有螺旋气体通道(605)和工作气体通道(606)，构成阴极气流工作段。